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簡(jiǎn)要描述：PCE-6小型等離子清洗機(jī)的等離子腔體為 Ø160mm×190mm的石英腔體，采用的射頻電源功率為3.0MHz（1%），輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調(diào)。本機(jī)主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)（如親水和疏水性等），對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。
產(chǎn)品型號(hào)：廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時(shí)間：2025-11-28訪 問 量：3190詳細(xì)介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 價(jià)格區(qū)間 | 2萬(wàn)-5萬(wàn) |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 地礦,綜合 |
PCE-6小型等離子清洗機(jī)的等離子腔體為 ?160mm×190mm的石英腔體，采用的射頻電源功率為3.0MHz（1%），輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調(diào)。本機(jī)主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)（如親水和疏水性等），對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。PCE-6小型等離子清洗機(jī)體積小，占用的空間少，可有效節(jié)約實(shí)驗(yàn)室空間。PCE-6小型等離子清洗機(jī)配有一個(gè)雙旋真空泵，可對(duì)腔體進(jìn)行抽真空，同時(shí)通入氬氣等氣體，適用于對(duì)易氧化的物品的清洗。
通過控制面板的按鍵及開關(guān)，可控制調(diào)節(jié)射頻功率、真空泵的開閉、清洗時(shí)間。
時(shí)間、功率、真空度等信息顯示在觸摸屏幕上。
設(shè)有一個(gè)三通閥，可精確控制進(jìn)氣流量，以及大氣流清洗腔體，進(jìn)氣接口為6mm卡套接口。
選用大功率射頻電源設(shè)備可進(jìn)行等離子刻蝕和等離子灰化實(shí)驗(yàn)。
| 產(chǎn)品名稱 | PCE-6小型等離子清洗機(jī) | |
| 產(chǎn)品型號(hào) | PCE-6 | |
| 主要參數(shù) | 1、電源：AC220V 50/60Hz 9、通入氣體：可通入多種氣體來產(chǎn)生等離子，如N2、Ar、H2、O2、Air和混合氣體等（根據(jù)材料性質(zhì)選定） 清洗及蝕刻
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| 產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸：400mm×300mm×300mm 重量：10.2kg | |
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